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靜電吸盤測試臺

一基本功能：

靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下，當(dāng)直流電極接通到高壓（低流）直流電源后，電介質(zhì)的表面會產(chǎn)生極化電荷。對于庫侖吸盤（吸盤不同種類中的一種）而言，這會導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對于JR吸盤，除了極化電荷外，還有一部分自由電荷，因為這類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會產(chǎn)生電場，該電場進(jìn)一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷，這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當(dāng)晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時，晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過施加外部高壓，利用靜電吸附力或J-R吸附力來固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上，以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。

為了保證晶圓不與吸盤接觸，吸盤表面均布氦氣孔，用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓，使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡

二測試原理：

靜電吸盤測試臺配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動吸盤，吸盤背面預(yù)留對應(yīng)出氣孔位置的氣體接口，每個接口用于連接對應(yīng)的壓力和流量傳感器，最多預(yù)留16路接口， 16路的壓力和流量對應(yīng)顯示在計算機上，

被動吸盤整體與測力傳感器連接，當(dāng)靜電吸盤工作時，可以測試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時，實時對外輸出的力，可以校正不同電壓時，對應(yīng)不同的氣體流量，分別輸出的實際吸力，并且實時顯示每一路氣體的壓力流量，用于校正晶圓整體受力是否均勻。

三 靜電吸盤測試臺基本參數(shù)

1. 最大吸附力：500N

2. 力值精度：±0.5%

3. 適配晶圓規(guī)格：10/8/5寸

4. 傳感器壓力范圍：0.1-50torr

5. 傳感器流量范圍：0.1-500sccm

6. 傳感器精度：±1%

7. 傳感器供電：24V

8. 系統(tǒng)耐壓等級：1000V

9. 外形尺寸：1200*950*1650

10. 整機功率：2kw

11. 整機重量：260kg

四 靜電吸盤測試臺基本配置：

1. 鋁合金臺架一套

2. 大理石臺面一套

3. 垂向移動滑臺一套

4. 吸盤安裝座一套

5. 被動吸盤一套

6. 氣體轉(zhuǎn)接板一套

7. 壓力傳感器 16支

8. 流量傳感器 16支

9. 通訊轉(zhuǎn)換器 1臺（35路）

10. 計算機及軟件一套

11. 隨機工具一套

12. 防靜電腳墊若干

13. 防靜電手環(huán) 2副

標(biāo)簽：靜電吸盤測試臺