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微機(jī)控制靜電吸盤測(cè)試臺(tái)

一基本功能：

靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下，當(dāng)直流電極接通到高壓（低流）直流電源后，電介質(zhì)的表面會(huì)產(chǎn)生極化電荷。對(duì)于庫(kù)侖吸盤（吸盤不同種類中的一種）而言，這會(huì)導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對(duì)于JR吸盤，除了極化電荷外，還有一部分自由電荷，因?yàn)檫@類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會(huì)產(chǎn)生電場(chǎng)，該電場(chǎng)進(jìn)一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷，這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當(dāng)晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時(shí)，晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過(guò)施加外部高壓，利用靜電吸附力或J-R吸附力來(lái)固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上，以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。

為了保證晶圓不與吸盤接觸，吸盤表面均布氦氣孔，用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓，使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡

二測(cè)試原理：

微機(jī)控制靜電吸盤測(cè)試臺(tái)配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動(dòng)吸盤，吸盤背面預(yù)留對(duì)應(yīng)出氣孔位置的氣體接口，每個(gè)接口用于連接對(duì)應(yīng)的壓力和流量傳感器，最多預(yù)留16路接口， 16路的壓力和流量對(duì)應(yīng)顯示在計(jì)算機(jī)上，

被動(dòng)吸盤整體與測(cè)力傳感器連接，當(dāng)靜電吸盤工作時(shí)，可以測(cè)試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時(shí) ，實(shí)時(shí)對(duì)外輸出的力，可以校正不同電壓時(shí)，對(duì)應(yīng)不同的氣體流量，分別輸出的實(shí)際吸力，并且實(shí)時(shí)顯示每一路氣體的壓力流量，用于校正晶圓整體受力是否均勻。

三 微機(jī)控制靜電吸盤測(cè)試臺(tái)基本參數(shù)

1. 最大吸附力：500N

2. 力值精度：±0.5%

3. 適配晶圓規(guī)格：10/8/5寸

4. 傳感器壓力范圍：0.1-50torr

5. 傳感器流量范圍：0.1-500sccm

6. 傳感器精度：±1%

7. 傳感器供電：24V

8. 系統(tǒng)耐壓等級(jí)：1000V

9. 外形尺寸：1200*950*1650

10. 整機(jī)功率：2kw

11. 整機(jī)重量：260kg

四 微機(jī)控制靜電吸盤測(cè)試臺(tái)基本配置：

1. 鋁合金臺(tái)架一套

2. 大理石臺(tái)面一套

3. 垂向移動(dòng)滑臺(tái) 一套

4. 吸盤安裝座一套

5. 被動(dòng)吸盤一套

6. 氣體轉(zhuǎn)接板一套

7. 壓力傳感器 16支

8. 流量傳感器 16支

9. 通訊轉(zhuǎn)換器 1臺(tái)（35路）

10. 計(jì)算機(jī)及軟件一套

11. 隨機(jī)工具一套

12. 防靜電腳墊若干

13. 防靜電手環(huán) 2副

標(biāo)簽：微機(jī)控制靜電吸盤測(cè)試臺(tái)